Elektronische halfgeleider afvalwaterzuiveringstechnologie

Soorten afvalwater
Omdat de eindproducten van halfgeleiderbedrijven verschillend zijn, zijn de soorten afvalwater die in het productieproces van elk bedrijf worden gegenereerd anders, en ook de classificatie van de bronnen van afvalwater die door elk bedrijf worden gegenereerd. In totaal kan het afvalwater in de halfgeleiderindustrie worden onderverdeeld in fluorhoudend afvalwater, fosforhoudend afvalwater, organisch afvalwater, maalafvalwater, ammoniakstikstofafvalwater en zuurhoudend afvalwater.

Bron van afvalwater
Het fluorhoudende afvalwater is voornamelijk afkomstig van het diffusieproces en het chemisch-mechanische maalproces in het chipfabricageproces. Fluorwaterstofzuur wordt ook vaak gebruikt in het reinigingsproces van siliconenwafels en aanverwante gebruiksvoorwerpen. Het heeft een sterk vernietigend effect op slijmvliezen, bovenste luchtwegen, ogen en huidweefsel. De verontreinigende stoffen zijn voornamelijk fluoride-ionen.
Fosforhoudend afvalwater is voornamelijk afkomstig van aluminium etsoplossing in de productietechniek.
Organisch afvalwater, vanwege verschillende productieprocessen, heeft de hoeveelheid organische oplosmiddelen die in de halfgeleiderindustrie worden gebruikt, een grote kloof. Als reinigingsmiddel worden organische oplosmiddelen echter nog steeds veel gebruikt in alle aspecten van het vervaardigen van verpakkingen. Een deel van het oplosmiddel wordt organische afvalwaterlozing. Organisch afvalwater is voornamelijk afkomstig van IPA-oplosmiddel, ontwikkelaar, ITO-etsoplossing, afvalwater op zuurbasis van beitstorens en organisch afvalwater van beitstorens. Slijpafvalwater is voornamelijk afkomstig van het daaropvolgende reinigingsproces na het snijden en polijsten van wafels. De belangrijkste verontreinigende stoffen zijn zwevende stoffen. Afvalwater van ammoniakstikstof is voornamelijk afkomstig van ammoniakwater en ammoniumfluoride dat wordt gebruikt bij het etsproces en de reiniging met zeer zuiver water. Het op zuur gebaseerde afvalwater komt voornamelijk uit het reinigingsproces in het productieproces; het terugspoelwater van het multimediafilter en het actief koolfilter in het zuiverwatersysteem, het reinigingswater na de mengbedregeneratie; de afwatering van de koeltoren.

Afvalwaterzuiveringstechnologie
Gefluoreerde afvalwaterbehandeling
De behandelingstechnologie van fluorhoudend afvalwater is voornamelijk chemische precipitatie plus coagulatieprecipitatiemethode, dat wil zeggen het toevoegen van chemicaliën om fluorideprecipitatie te vormen of fluoride dat wordt geadsorbeerd in het gevormde precipitaat en co-precipitatie, en vervolgens het vaste precipitaat scheiden om fluor te verwijderen. er toe doen. In de halfgeleiderindustrie resulteert de toevoeging van Ca(OH)2 of een mengsel van NaOH en CaCl2 in de precipitatie van onoplosbaar CaF2. Vanwege de hoge milieu-eisen van halfgeleiderfabrieken gebruiken we vaak CaCl2 als reactant. De chemische reactie van CaCl2-precipitatie is:
2F plus Ca2 plus → CaF2↓
Bij de stoichiometrische concentratie van calcium is de theoretische maximale oplosbaarheid van calciumfluoride ongeveer 8 mg/l. Daarom resulteren calciumfluorideconcentraties die deze oplosbaarheidsgrens overschrijden in precipitaten. Over het algemeen wordt de verblijftijd beschouwd als 0,5 uur. Het nadeel van CaF2-precipitatie is dat het sediment slechte sedimentatie-eigenschappen heeft, dus na chemische neerslag worden over het algemeen coagulanten (PAC en PAM) toegevoegd om een ​​groter neerslag te vormen, en uiteindelijk wordt het sediment verwijderd in een sedimentatietank. Als er teveel kalk of CaCl2 wordt toegevoegd, kan de fluorideconcentratie verder worden verlaagd. Gewoonlijk wordt een fluormeter in de reactor geplaatst om de calciumdosering te regelen.

Fosfor Afvalwaterbehandeling
Fosforhoudende afvalwaterzuivering wordt voornamelijk toegepast door de chemische precipitatiemethode en de biologische methode. Het grootste deel van de productiebehandeling wordt gebruikt om organisch fosforafvalwater te behandelen. Fosforhoudend afvalwater dat in de halfgeleiderindustrie wordt gegenereerd, bestaat voornamelijk in de vorm van fosfaat, dat wordt behandeld door middel van een chemische precipitatiemethode. Het precipiterende middel keurt calciummiddel of aluminiummiddel goed. De methode die we gebruiken is om eerst fosfaat te precipiteren met CaCl2 en dan PAC toe te voegen voor coagulatie.
De reactieformule van CaCl2 en PO43- is:
Ca2 plus plus PO43-→ Ca3(PO4)2↓
De theoretische oplosbaarheid van calciumfosfaat is ongeveer 20 mg/L. Daaropvolgende coagulatiebehandeling vormt verder grotere sedimenten, die uiteindelijk in een sedimentatietank worden verwijderd. De reactie wordt in het algemeen uitgevoerd onder de voorwaarde dat de pH wordt geregeld op 8-10.

Organische afvalwaterbehandeling
Er zijn veel behandelingsmethoden voor organisch afvalwater, zoals actiefslibmethode, biofilmmethode, MBR-membraanmethode, enz. Op dit moment gebruiken we voornamelijk contactoxidatiemethode voor behandeling, anaërobe plus aërobe behandelingsmethode. Deze methode heeft een stabiel behandelingseffect en lage investering, en wordt begunstigd door eigenaren.

Afvalwaterbehandeling malen
De belangrijkste verontreinigende stoffen in het maalwater zijn vaste stoffen, maar deze vaste deeltjes zijn klein en moeilijk neer te slaan. In het algemeen wordt de diameter van de deeltjes vergroot door coagulatie om de deeltjes gemakkelijker te laten bezinken.

Ammoniak Stikstof Afvalwater
De behandelingsmethoden van afvalwater met ammoniakstikstof omvatten de stripmethode, de chloorbreekpuntmethode, de biologische methode, de neutralisatiemethode, de precipitatiemethode, de ionenuitwisselingsmethode en de stoomstripmethode. De stripmethode die wordt gebruikt om afvalwater met een hoge concentratie ammoniakstikstof te behandelen, heeft de voordelen van een eenvoudig proces, een stabiel behandelingseffect, lage kapitaalconstructiekosten en bedrijfskosten, en heeft een sterke uitvoerbaarheid. Wanneer de concentratie van ammoniakstikstof-afvalwater relatief hoog is (meer dan een paar honderd), wordt de concentratie van ammoniakstikstof verlaagd tot onder 100 mg/L door de stripmethode, en de uitgestripte ammoniakstikstof wordt geabsorbeerd door zuurtoevoeging in ammoniumsulfaat en verscheept. Het afvalwater van ammoniakstikstof in de halfgeleiderindustrie heeft een laag koolstofgehalte en de biochemische methode is niet geschikt. De stripmethode en de precipitatiemethode zijn geschikt voor afvalwater met een hoge concentratie ammoniakstikstof. De neutralisatiemethode kan de vervuiling van ammoniakstikstof niet volledig verwijderen en ammoniakstikstof uit het afvalwater verdrijven, maar moet worden uitgerust met een extra absorptietoren voor absorptie, wat een relatief hoge investering is voor projecten met een kleine zuiveringscapaciteit. Sommige halfgeleiderfabrieken hebben een kleine hoeveelheid ammoniak-stikstof-afvalwater en een lage concentratie. Wanneer de concentratie 100-200 mg/L is, wordt het afvalwater met ammoniakstikstof behandeld volgens de chloorbreekpuntmethode. Deze methode vereist een lage investering, een kleine footprint en relatief eenvoudige apparatuur. In de reactor is een chloormeter geplaatst om de dosering van chloor en reductiemiddel te regelen.

Afvalwater op zuurbasis
De behandelingsmethode van afvalwater op zuurbasis is heel eenvoudig, de neutralisatiemethode op zuurbasis kan aan de vereisten voldoen en de pH in de reactor kan worden geregeld om 6-9 te zijn om aan de lozingsnorm te voldoen. In de reactor is een pH-meter geplaatst om de dosering van de chemicaliën te regelen.

https://www.biocell-enviro.com/